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TPY-2自动椭圆偏振测厚仪
仪器介绍:
TPY-2自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制,自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。
关键词:
自动椭圆偏振测厚仪

TPY-2自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制,自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度灵敏度等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。


测量范围

薄膜厚度范围:1nm-300nm折射率范围:1-10

测量厚度最小示值nm

1

偏振器方位角范围

0°- 180°读取分辨率为0.05°

偏振器步进角

0.014°/步

测量膜厚nm

±1

折射率重复性精度

±0.01

度盘刻度

每格1度

仪器测量精度nm

±0.5(薄膜厚度在10-100nm时)

入射角调节范围

20°90°精度为0.05°

入射光波长nm

632.8

光学中心高mm

80

允许样品尺寸(mm)

φ10-φ140(或任意形状),厚度≤15

外形尺寸(mm)

590*390*320

主机重量kg

28



型号

名称

数量

基本配置

TPY-2

椭圆偏振测厚仪主机

1台


TPY-2

主机电控箱

1套



二氧化硅膜样片

1片


TPY-2

椭圆偏振测厚仪专用软件

1套


需另配

计算机及打印机

1套


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